MEMS Presyon Capteur

Detèktè presyon MEMS yo se nwayo absoli ak endikap nan teknoloji modèn deteksyon presyon. Yo reprezante yon revolisyon nan miniaturization, entèlijans, ak pri ki ba.

 

MEMS, oswa Mikwo-Electro-Sistèm Mekanik, refere a sistèm mekanik ak elektwonik miniature ki fabrike an gwo sou silisyòm wafers lè l sèvi avèk pwosesis fabrikasyon sikwi entegre (IC).

Nwayo yon Capteur presyon MEMS se yon dyafram Silisyòm mikwomèt -echèl. Presyon ki aji sou dyafram sa a lakòz li defòme. Deformation sa a chanje karakteristik elektrik eleman deteksyon entegre, epi lè w mezire chanjman elektrik sa yo, valè presyon an ka sòti. Ki baze sou prensip la deteksyon, yo sitou divize an kalite sa yo:

• Prensip: Eleman piezoresistif yo kreye sou dyafram Silisyòm atravè yon pwosesis dopan epi yo konekte pou fòme yon pon Wheatstone. Lè dyafram nan defòme anba presyon, valè rezistans yo chanje, sa ki lakòz pon an bay yon siyal vòltaj pwopòsyonèl ak presyon an.
• Karakteristik: Teknoloji ki gen matirite, estrikti senp, gwo siyal pwodiksyon, pri ki ba. Li se kalite ki pi komen ak ekonomik nan Capteur presyon MEMS. Sepandan, li se sansib a tanperati epi li mande pou konpansasyon tanperati.

• Prensip: Silisyòm dyafram nan aji kòm yon sèl plak kondansateur, fòme yon kondansateur tipòtrè ak yon lòt plak fiks. Presyon defòme dyafram nan, chanje distans ki genyen ant de plak yo, kidonk sa ki lakòz yon chanjman nan kapasite.
• Karakteristik: Ba konsomasyon pouvwa, sansiblite segondè, karakteristik tanperati bon, rezistans fò surcharge. Souvan yo itilize nan jaden mezi ki ba-pouvwa ak ba-presyon.

• Prensip: Presyon chanje estrès nan dyafram Silisyòm lan, ki chanje frekans natirèl yon gwo bout bwa sonan tipòtrè fabrike sou li. Presyon yo santi lè w mezire chanjman frekans lan.
• Karakteristik: Trè wo presizyon, bon estabilite, pwodiksyon dijital (frekans). Sepandan, estrikti a se konplèks, pri a se wo, epi li se sitou itilize nan gwo -domen endistriyèl ak ayewospasyal.

Detèktè presyon MEMS yo fabrike sou wafers Silisyòm lè l sèvi avèk pwosesis semi-kondiktè estanda (tankou fotolitografi, grave, difizyon, mens -fim depozisyon). Etap kle a se fòme kavite a ak dyafram presyon, tipikman lè l sèvi avèk en mikromachining oswa sifas mikromachining teknik.

Konpare ak detèktè presyon tradisyonèl mekanik oswa metal dyafram, detèktè presyon MEMS gen avantaj akablan:

• Miniaturizasyon:Gwosè ka piti tankou milimèt oswa menm echèl mikromèt, sa ki fè yo fasil pou entegre.
• Pwodiksyon an mas ak pri ki ba:Manifaktire ansanm nan dè milye sou wafers, jis tankou chips, redwi drastikman pri a pou chak Capteur.
• Segondè Presizyon & Segondè Fyab:Pa gen pati k ap deplase, lavi fatig long.
• Konsomasyon pouvwa ki ba:Patikilyèman apwopriye pou aparèy pòtab ki mache ak pil-.
• Entèlijans:Sikwi kondisyone siyal yo, mikwoprosesè, detèktè tanperati, elatriye, ka byen fasil entegre sou menm chip ak inite deteksyon an, fòme yon "Sistèm-sou-Chip" pou reyalize pwòp tèt ou-konpansasyon, pwòp tèt ou-kalibrasyon, ak pwodiksyon dijital.

Presyon referans lan se yon vakyòm. Li mezire presyon relatif nan yon vakyòm pafè.

Aplikasyon: Altimèt, estasyon metewolojik, sistèm vakyòm.

Presyon referans la se presyon atmosferik aktyèl la. Li mezire presyon an parapò ak presyon atmosferik. Tipikman gen yon twou vantilasyon nan lojman an.

Aplikasyon: monitè tansyon, bawomèt, kontwòl pwosesis endistriyèl (egzanp, presyon tiyo).

Aplikasyon: Mezi koule, siveyans bouche filtre, mezi nivo likid.

Baj popilè: mems presyon Capteur, Lachin mems presyon Capteur Swèd